3月3日晚，中芯國際發表公告稱，公司與ASML阿斯麥公司簽訂購買協議，根據阿斯麥購買單購買的阿斯麥產品定價，阿斯麥購買單的總代價為12億美元(約合人民幣78億元)。

公告披露，2021年2月1日，中芯國際與阿斯麥上海簽訂了經修訂和重述的阿斯麥批量采購協議。據此，阿斯麥批量采購協議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日延長至從2018年1月1日至2021年12月31日。

ASML是全球最重要的光刻機生產商，中芯國際并沒有透露簽訂的協議具體內容，不過12億美元的總價值不低，最貴的EUV光刻機也就是1.2億美元，所以這次簽訂的協議供應量差不多是10臺以上。

來自證券時報的消息稱，記者從業內資深人士處了解到，除了EUV光刻機，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的光刻機，包括DUV(深紫外)光刻機。

此前，ASML的CFO在財報會議的視頻采訪中表示：如果寬泛地理解相關規則對AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國客戶(包括中芯國際)提供DUV光刻系統，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統，ASML則需要為此申請出口許可證。